Корнинг производит различные стеклянные материалы, используемые для изготовления фотомасок, включая высокочистые расплавленные кварце, стекло сверхнизкой расширением (ULE) и стекло сверхнизкой расширением (Extreme ULE).Основным преимуществом материалов ULE и Extreme ULE является их очень низкий коэффициент теплового расширения, который обеспечивает их максимальную консистентность в суровых условиях ультрафиолетового излучения (EUV), а также отличную однородность, которая уменьшает «волна» фотомаски, что позволяет минимизировать переменность цепи (т. е. снижение производительности и переменности мощности).
Стекло Corning ULE используется для изготовления фотомасок для глубокой ультрафиолетографии (DUV) и EUV, а материалы Extreme ULE используются для фотографии EUV высокой апертурой (High-NA) следующего поколения.
Обеспечение доступа к материалам для изготовления фотомасок для американских компаний, использующих передовые оборудования DUV, EUV с низкой апертурой и EUV с высокой апертурой, имеет решающее значение для промышленности в целом и, в частности, для таких компаний, как Intel, Grid Core, TSMC, Texas Instruments и Samsung.
Корнинг получила 32 млн долларов США для расширения своего производственного завода в Кантоне, штат Нью-Йорк, для увеличения производства специальных материалов, таких как расплавленный кварц высокой чистоты (HPFS) и стекло Extreme ULE, что позволит создать 130 новых рабочих мест в производстве и более 175 рабочих мест в строительной отрасли.